直線電機
張力控制
直接驅動電機(DD馬達)
博揚組合閥
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■ 超精密的壓力控制
壓力控制方式是利用滾動膜片和計量膜盒的伺服平衡方式。
■ 優越特性
由于高感度計量膜盒的效果,實現了優異的壓力特性,流量特性,泄壓特性。
■ 型號表示方法
■ 減壓特性