半導體壓力傳感器是利用半導體的壓阻效應制成的。半導體材料在受到外部壓力作用時,其電阻值會發生變化,這種現象被稱為壓阻效應。半導體壓力傳感器利用這一效應,通過測量電阻值的變化來推算出外部壓力的大小。
半導體壓力傳感器通常由敏感元件和信號處理電路組成。敏感元件一般采用壓阻效應明顯的半導體材料制成,如硅、鍺等。當敏感元件受到壓力作用時,其電阻值發生變化,這個變化被信號處理電路轉換成電信號輸出,從而實現對壓力的測量。
半導體壓力傳感器具有靈敏度高、響應速度快、功耗低、可靠性高等優點,因此被廣泛應用于各種壓力測量和控制系統中,如汽車、航空航天、醫療、工業等領域。
總之,半導體壓力傳感器是利用半導體的壓阻效應制成的,通過測量電阻值的變化來推算出外部壓力的大小,具有廣泛的應用前景和發展空間。