MEMS傳感器即微機電系統，是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。與傳統的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。

　1、MEMS氣體流量傳感器：高精度，檢測流量范圍廣，適用于各種需求的流量計測。2、MEMS壓力傳感器：性能偏差小的MEMS壓力傳感器。3、MEMS非接觸溫度傳感器：對靜止人體也能檢測，高靈敏度的人體感應傳感器。4、MEMS開關：高頻，小型，長壽命的MEMS開關。中國在MEMS傳感器領域的研究較晚，但已經成為不可或缺的力量，中國的部分專利權的創新主體協同格局前提下，加大科技資金投入不但可以消解技術創新發展中的資金阻滯，又有助于引導企業或單位技術創新意識，從而提高我國創新驅動效率，促進經濟快速而穩健的發展。

　產品原理MEMS氣體質量流量計采用具有自主知識產權的MEMS芯片作為傳感器核心部件，當沒有氣體介質流過傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩定的溫度場（溫度分布）,當氣體介質流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質帶走熱量導致局部溫度重新分布。局部溫度場的變化量取決于流體介質的質量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量，通過校準，專門設計的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實際的介質質量流量.

　自成立一直用的就是賽亞的MEMS傳感器，對于客戶的安全我們是非常重視的，由于塞亞是國內領先的MEMS煙霧氣體傳感器制造商，運用MEMS熱電堆芯片，精度和靈敏度都大大的高，在芯片技術、MEMS封裝等方面都很適合我們，而且產品體積小、功耗低、靈敏度高、精度高，用了很多年了，至今沒出現過問題的。