長期穩定性是決定壓力傳感器整體測量精度的最重要參數之一。壓力傳感器的長期穩定性由傳感器校準間隔期間零值和量程值的最大可接受變化定義。簡而言之,要使傳感器被認為是穩定的,它應該在校準間隔內保持非常低的測量漂移。
有多種因素會影響壓力傳感器的長期穩定性,尤其是對于硅壓力傳感器-傳感器芯片、機械應力、環境條件等。此外,由于傳感器被封裝并轉換為換能器,電子設計和封裝等過程增加了換能器的整體漂移。精密硅壓力傳感器進一步放大了這個問題,其中誤差范圍非常有限。
提高這些傳感器的長期穩定性涉及了解各種漂移引起的因素并對這些過程進行更正或調整:
1.傳感器元件傳感器元件和各種子組件(如硅和隔離膜片)的制造質量會影響穩定性以及增加機械應力的安裝組件。
2.電子器件在傳感器中集成和轉換傳感器輸出的過程需要帶有關鍵組件的電子器件,這些組件會由于分辨率、溫度效應和設計引起的應力效應而導致輸出漂移。
3.固件傳感器內部的表征過程決定了它在不同溫度下的性能,并決定了壓力輸出。
4.制造過程壓力傳感器的制造過程涉及壓力參考標準和確定過程參考不確定性的表征室。
為了提高和保持硅傳感器的穩定性,必須找到優質壓力傳感器并調整制造工藝、電子設備和固件以獲得所需的穩定輸出。