當需要為您的真空泵或系統選擇新的或更換的壓力表時,采取周到的方法很重要。乍一看,這似乎是一項簡單的任務,但您需要考慮幾個因素。各種因素會影響壓力表的整體性能/可靠性,并且必須成為決策過程的一部分。每個儀表都有自己的工作范圍和準確度級別,并提供自己的一系列優勢和限制。
在深入研究這些主要選項之前,讓我們研究一下壓力表類型。有兩種主要類型的真空壓力表:直接和間接。
1、直接量規
直接壓力表將為您提供真空系統的壓力,與氣體類型無關(因此也稱為氣體獨立壓力表)。這些只能在10-4 mbar以上的壓力下有效工作。這是因為它們依賴于系統中具有物理效應的分子,并且在較低壓力下,沒有足夠的分子產生可測量的效應。包括:
壓電真空和超壓的精確測量,低至1 mbar左右(低于1 mbar的精度往往會漂移)
機械表盤壓力的視覺指示(在本地顯示應用中很有用)
電容高度準確,能夠測量從大氣壓到10-5托(測量4個十進制,在前2個十年內具有極高的精度)
2、間接量規
間接測量儀通常依賴于兩種測量技術:熱導或電離。兩種測量技術都取決于氣體類型;因此,如果您想知道真實壓力,了解您正在測量的氣體很重要。通過了解氣體類型,您可以應用氣體校正因子。這些壓力表分為三種主要類型:
皮拉尼(熱力計)用于粗真空到中等真空,通常作為壓電/電容計的低成本替代品,精度不那么重要
冷陰極(電離計)用于中到高真空以指示壓力(用于高顆粒應用的穩健技術)
熱陰極(電離規)用于中到超高真空,與冷陰極技術相比,精度更高,測量范圍更廣,缺點包括它需要稍高的功率,并且對振動/沖擊和空氣涌入更敏感,但它非常適合清潔、高真空應用
3、主動和被動壓力表
對于間接量規,還有另一個小節:主動和被動。
您在市場上看到的大多數壓力表都是活動的,帶有嵌入式電子設備來進行信號處理并提供0-10 V或其他與壓力成比例的模擬輸出。然而,在輻射量大的環境中,有源傳感器會受到影響且不可靠。在這些情況下,您可以獲取移除電子設備并將其放入控制器的壓力表版本,該控制器可以遠離輻射區域放置以獲得最佳性能。